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Winkelgeschwindigkeitssensorvorrichtung, welche aufweist: einen Winkelgeschwindigkeitssensor (1), welcher einen an einer ersten Halbleiterschicht (2) befestigten Oxidfilm (3) und eine oberhalb der ersten Halbleiterschicht (2) angeordnete zweite Halbleiterschicht (4) enthält, wobei der Winkelgeschwindigkeitssensor (1) ferner einen innerhalb der zweiten Halbleiterschicht (4) ausgebildeten Gewichtsteil (8), welcher in einer ersten Richtung (Richtung X) und einer zu dieser ersten Richtung senkrechten zweiten Richtung (Richtung Y) schwingt, ein Paar von Ansteuerungselektroden (D1, D2) zum Anlegen von Ansteuerungsspannungen, um den Gewichtsteil in der ersten Richtung in Schwingung zu versetzten, ein Paar von Überwachungselektroden (M1, M2) zum Überwachen der Schwingung des Gewichtsteils in der ersten Richtung und Erfassungselektroden (17a, 17b) zum Erfassen einer Schwingung des Gewichtsteils in der zweiten Richtung, welche dann auftritt, wenn zusätzlich zu der Schwingung in der ersten Richtung eine Winkelgeschwindigkeit um eine zu der ersten und der zweiten Richtung senkrechten Achse (Achse Z) wirkt, enthält; einen Eigenschwingkreis (27) zum Erzeugen von an...
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