发明名称 |
Método para depositar un material |
摘要 |
<p>Método para depositar un material de una diana sobre una superficie de una muestra, método que comprende las etapas de: - Irradiar una superficie de la diana con un rayo láser o de electrones para generar un penacho de partículas del material diana; - Posicionar la muestra cerca del penacho, tal que las partículas del material diana se depositen sobre la superficie de la muestra; - Hacer girar la muestra alrededor de un eje de rotación que es perpendicular a la superficie de la muestra sobre las cual se depositan las partículas; - Mover el rayo láser o de electrones a lo largo de la superficie de la diana, tal que el penacho se mueva en una dirección radial en relación con el eje de rotación; Caracterizado por: - Pulsar el rayo láser o de electrones a una frecuencia variable</p> |
申请公布号 |
ES2378906(T3) |
申请公布日期 |
2012.04.19 |
申请号 |
ES20080014970T |
申请日期 |
2008.08.25 |
申请人 |
SOLMATES B.V. |
发明人 |
JANSSENS, JAN AMAUD;VAN DE EIJKEL, GERARD;DEKKERS, JAN MATTHIJN;BROEKMAAT, JOSKA JOHANNES;TE RIELE, PAUL |
分类号 |
C23C14/28;C23C14/50 |
主分类号 |
C23C14/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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