AQUEOUS DISPERSION FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AND CHEMICAL MECHANICAL POLISHING METHOD USING SAME,申请号KR20127000417-传众专利搜索

发明名称	AQUEOUS DISPERSION FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AND CHEMICAL MECHANICAL POLISHING METHOD USING SAME
摘要
申请公布号	KR20120037451(A)	申请公布日期	2012.04.19
申请号	KR20127000417	申请日期	2010.07.15
申请人	JSR CORPORATION	发明人	BABA ATSUSHI;KAWAMOTO TATSUYOSHI;TAI YUUGO;KAMEI YASUTAKA
分类号	C09K3/14;H01L21/304	主分类号	C09K3/14
代理机构		代理人
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