反馈控制激光的方法及反馈控制系统

摘要

一种反馈控制激光的方法及装置，其包括自该激光输出激光束至光束，在该激光及该光束间的一点测量该激光束的强度并响应该强度输出一原始反馈信号。将该原始反馈信号与一激光校正因子及一光束校正因子相乘并输出做为一调整反馈信号。接着使用一控制器以响应该调整反馈信号而控制该激光强度。

主权项

一种反馈控制激光的方法，该方法包括：自该激光输出一激光束至一光束；测量在该激光及该光束间的该激光束的一强度并响应该强度而输出一原始反馈信号；经由对多个激光及光束的组合的一统计采样以决定一激光校正因子及一光束校正因子的数值，该激光校正因子及该光束校正因子包括关于该激光及该光束之间的耦合的数据；将该原始反馈信号与该激光校正因子及该光束校正因子相乘及输出一调整反馈信号；及接收该调整反馈信号及响应该调整反馈信号以控制该激光。