用于手动探针台固定单个晶粒的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于手动探针台固定单个晶粒的装置，所述手动探针台的载物台上设有与抽真空装置相连的气孔，该装置为一个由绝缘材料制成的容置壳体，所述容置壳体上设有多个不同尺寸的方形凹坑，每个方形凹坑中容纳一个晶粒，所述容置壳体的侧面和底面具有光滑金属层，容置壳体通过光滑金属层吸附在手动探针台的载物台上。本实用新型结构简单，使用方便，可重复利用，不但适用于各种大小的晶粒，而且可以同时固定多个晶粒进行测试，显著提高了测试效率。

主权项

一种用于手动探针台固定单个晶粒的装置，所述手动探针台的载物台上设有与抽真空装置相连的气孔，其特征在于：该装置为一个由绝缘材料制成的容置壳体(1)，所述容置壳体(1)上设有多个不同尺寸的方形凹坑(2)，每个方形凹坑(2)中容纳一个晶粒，所述容置壳体(1)的侧面和底面具有光滑金属层(3)，容置壳体(1)通过光滑金属层(3)吸附在手动探针台的载物台上。