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发明名称
摘要
申请公布号 JP4918695(B2) 申请公布日期 2012.04.18
申请号 JP20070519287 申请日期 2005.06.22
申请人 发明人
分类号 H01L27/115;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8238;H01L21/8247;H01L29/786;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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