发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR PARTICLE PROCESSING WITH PLASMA
摘要
申请公布号 EP2440323(A1) 申请公布日期 2012.04.18
申请号 EP20100732722 申请日期 2010.06.09
申请人 INNOVATIVE CARBON LIMITED 发明人 WALTERS, IAN
分类号 B01J19/08;H01J9/02 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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