光照射装置

摘要

一种提供可进行被处理对象物的光照射面的照度的面内均匀性高的光照射处理的光照射装置。此光照射装置，系具备光源元件而构成，该光源元件，系通过长边方向的两端部通过框体保持，垂直于长边方向的剖面形状为矩形状的长条灯，与在该灯插通于内部的状态下，长边方向的两端部通过前述框体保持所设置，并于内部形成冷却风流通路径的具有透光性的长条的筒状外套管所构成；于前述外套管的内部，设置有将前述灯于其长边方向的局部位置中对于该外套管加以直接支持的支撑部；该支撑部，系具备与前述灯的4个棱角的角部相接，挟持该灯并加以保持，由绝缘材料所构成的支撑部本体，于该支撑部本体，形成有抵接前述外套管的内面，具备弹性构件的外套管抵接部。

主权项

一种光照射装置，其特征为：具备光源元件而构成，该光源元件由长条灯和长条的筒状外套管所构成，所述长条灯为长边方向的两端部通过框体保持的、垂直于长边方向的剖面形状为矩形状的长条灯，所述长条的筒状外套管为在该灯插通于内部的状态下，长边方向的两端部通过前述框体保持设置的、于内部形成冷却风流通路径的具有透光性的筒状外套管；于前述外套管的内部，设置有将前述灯于其长边方向的局部位置对该外套管直接支持的支撑部；该支撑部具备与前述灯的4个棱角的角部相接、挟持该灯并加以保持的、由绝缘材料所构成的支撑部本体，于该支撑部本体，形成有抵接于前述外套管的内面的、具备弹性构件的外套管抵接部。