| 发明名称 | 聚焦环、聚焦环组合、IMP溅射设备 | ||
| 摘要 | 一种聚焦环组合，包括：聚焦环；位于所述聚焦环外的安装钉，所述安装钉包括柱体与膨大的背部，所述安装钉的背部固定在所述聚焦环的外表面上，所述柱体的内部设有螺纹孔。本发明还提供了与上述聚焦环组合相对应的聚焦环与IMP溅射设备。本发明的聚焦环组合、聚焦环和IMP溅射设备将或适于将安装钉焊接在聚焦环的外表面上，不会出现安装钉的背部因参与溅射而被消耗掉，最终不能起到固定聚焦环的作用，使得聚焦环也无法继续使用的问题，这样也就增加了聚焦环的使用寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN102418075A | 申请公布日期 | 2012.04.18 |
| 申请号 | CN201110403767.5 | 申请日期 | 2011.12.07 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;汪涛 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种聚焦环组合，其特征在于，包括：聚焦环；位于所述聚焦环外的安装钉，所述安装钉包括柱体与膨大的背部，所述安装钉的背部固定在所述聚焦环的外表面上，所述柱体的内部设有螺纹孔。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 | ||