| 发明名称 | 具有格栅作为中间电极的RF MEMS开关 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种电容性MEMS器件，包括：第一电极，处于平面中；以及第二电极，悬挂于第一电极的上方并且能够相对于第一电极移动。第一电极用作致动电极。在第一电极和第二电极之间存在间隙。第三电极位于第一电极和第二电极之间，间隙在第三电极和第二电极中间。第三电极中具有一个或多个孔，所述一个或多个孔优选被排列为有序阵列或不规则阵列。本发明的一方面集成了导电格栅(例如金属格栅)作为中间(或第三)电极。本发明的一个优点在于能够减小现有技术中的至少一个问题。该优点使得能够对开关的拉入电压和释放电压进行独立控制。 | ||
| 申请公布号 | CN102422373A | 申请公布日期 | 2012.04.18 |
| 申请号 | CN201080019992.2 | 申请日期 | 2010.05.07 |
| 申请人 | NXP股份有限公司 | 发明人 | 皮特·杰拉德·斯普内肯;希尔柯·瑟伊;罗尔多夫·赫图斯特;特温·范利庞 |
| 分类号 | H01H59/00(2006.01)I | 主分类号 | H01H59/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王波波 |
| 主权项 | 一种电容性MEMS器件，包括：第一电极，处于平面中；第二电极，悬挂于第一电极的上方并且能够相对于第一电极移动；间隙，存在于第一电极和第二电极之间；第三电极，位于第一电极和第二电极中间，所述间隙在第三电极和第二电极之间，其中，第三电极中具有多个第一孔。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||