主权项 |
一种液滴涂布装置,其特征在于,包括:基座,该基座具有供基板进行载放的载放面;第一横梁部及第二横梁部,该第一横梁部及第二横梁部与所述载放面相对,沿所述载放面的一个方向延伸,并且,该第一横梁部及第二横梁部以可沿所述载放面的另一个方向相对于所述基座相对移动的形态安装在所述基座上,并沿所述另一个方向排列设置;多个液滴排出部,该多个液滴排出部以可沿所述一个方向移动的形态安装在所述第一横梁部及第二横梁部上,并朝所述基板排出液滴进行涂布;以及至少一个摄像体,该至少一个摄像体配置在所述第一横梁部与所述第二横梁部之间,安装在所述第一横梁部和所述第二横梁部中的至少一个所述横梁部上,并对载放在所述载放面上的所述基板进行拍摄,所述第一横梁部和所述第二横梁部一体地连结而成为一体,在所述另一个方向上可相对于所述基座相对移动,所述第一横梁部和所述第二横梁部分别具有安装面和相对面这两者,所述安装面和所述相对面是平面,沿所述一个方向延伸且彼此朝向所述另一个方向的相反侧,所述液滴排出部安装在处于所述第一横梁部的与所述第二横梁部相对的相对面的相反侧的所述第一横梁部的安装面、以及处于所述第二横梁部的与所述第一横梁部相对的相对面的相反侧的所述第二横梁部的安装面上,所述至少一个摄像体安装在所述第一横梁部及所述第二横梁部的所述相对面中的至少一个相对面上。 |