多层微流体探头及其制造方法

摘要

本发明涉及一种多层微流体探头(MFP)(100)。所述探头一般包括彼此面对的第一层(110)和第二层(120)，和从第一层(110)延伸的至少一个管端口(182)。所述第一层包括一个或多个通孔(112)，其使得第一层朝向第二层流体连通。所述第二层包括至少一个微通道(124)，实现至孔径(122)的流体连通。这样的多层MFP探头比单一结构的探头更容易制造。具体地说，微通道可被刻蚀为凹槽(124)，其位于两层的界面的水平。所述MFP探头还可使用例如用于管端口的标准配件与管接口。本发明例如对于在表面上构图连续和不连续的生物分子的图案、以及在非接触模式直接处理抗蚀剂材料有显著能力。

主权项

一种多层微流体探头(100)，包括第一层(110)，第二层(120)，和管端口(181，182)，所述管端口从第一层的顶面延伸，其中：第一层具有通孔(111，112)，其使得所述端口和第一层的底面之间流体连通；第二层包括：在第二层的一个面上的孔径(121，122)；和微通道(123，124)，其使得第二层的顶面和所述孔径之间流体连通，所述第二层的顶面面向所述第一层的底面；和所述探头被进一步配置为使得所述通孔和所述微通道之间流体连通。