发明名称 |
光电转换元件,固态成像元件,成像设备和用于制造光电转换元件的方法 |
摘要 |
本发明涉及光电转换元件,固态成像元件,成像设备和用于制造光电转换元件的方法。光电转换元件包括绝缘膜,第一电极,光接收层和第二电极。第一电极在绝缘膜上形成并且由氧氮化钛制成。光接收层在第一电极上形成并且包含有机材料。刚好在形成光接收层之前的第一电极的组成满足以下要求:(1)在整个第一电极中含有的氧的量是钛的量的75原子%以上,或(2)在从第一电极的基板侧至10nm的范围内或在从第一电极的基板侧至第一电极的厚度的2/3的范围内,氧的量是钛的量的40原子%以上。 |
申请公布号 |
CN102420236A |
申请公布日期 |
2012.04.18 |
申请号 |
CN201110289309.3 |
申请日期 |
2011.09.27 |
申请人 |
富士胶片株式会社 |
发明人 |
三井哲朗;藏本有纪 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;H04N5/335(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
陈平 |
主权项 |
一种光电转换元件,所述光电转换元件包括:绝缘膜,其形成在基板上并且由氧化物膜制成;第一电极,其形成在所述绝缘膜上;光接收层,其形成在所述第一电极上并且包含有机材料;和第二电极,其形成在所述光接收层上,其中所述第一电极由氧氮化钛制成,并且刚好在形成所述光接收层之前的所述第一电极的组成满足:要求(1):在整个所述第一电极中含有的氧的量是钛的量的75原子%以上,或要求(2):在从所述第一电极的基板侧至10nm的范围内或在从所述第一电极的基板侧至所述第一电极的厚度的2/3的范围内,氧的量是钛的量的40原子%以上。 |
地址 |
日本国东京都 |