紫外像增强器分辨力测试装置

摘要

本发明公开了一种紫外像增强器分辨力测试装置，属于光电仪器性能测试领域。该装置包括紫外光源、标准紫外测试分划板和紫外光学系统；标准紫外测试分划板在紫外光源的照射下，能够形成含有标准分划的紫外测试光束，紫外测试光束通过紫外光学系统的离轴抛物面反射镜准直后，再由成像物镜组以折反射方式会聚到被测紫外像增强器的光阴极面上。本发明解决了对紫外波段像增强器分辨力的测试问题，为提高紫外像增强器的质量提供了间接地技术支持，同时本发明还具有无色差、球差小、测试精度高、使用方便等优点。

主权项

一种紫外像增强器测试装置，包括紫外光源(6)、紫外光学系统和三维移动测试架(8)，其特征在于：还包括采用石英玻璃制作的标准紫外测试分划板(7)，所述紫外光学系统含有离轴抛物面反射镜(12)和折反射式成像物镜组，所述离轴抛物面反射镜(12)的抛物面上镀有反射膜，所述折反射式成像物镜组由二次曲面反射镜(9)和补偿镜(10)构成，二次曲面反射镜(9)带有中心通孔，其一面为二次曲面且曲面系数为‑0.052162，另一面为球面且镀有内反射膜，补偿镜(10)为无光焦度双薄透镜即由分离的补偿正透镜和补偿负透镜组成，补偿正透镜镀有紫外增透膜，补偿负透镜的出射面为平面且中心区域镀有外反射膜；测试时，被测紫外像增强器放置在所述三维移动测试架(8)上，且被测紫外像增强器的光阴极面的中心与所述折反射式成像物镜组的像方焦点重合；所述标准紫外测试分划板(7)偏离所述紫外光学系统的光轴，所述紫外光源(6)发出的紫外辐射透过所述标准紫外测试分划板(7)后形成含有标准分划的紫外测试光束，紫外测试光束经所述离轴抛物面反射镜(12)准直成紫外平行光束，紫外平行光束经补偿镜(10)透射到二次曲面反射镜(9)的环形二次曲面上会聚，该会聚紫外光束再经所述补偿负透镜出射面的中心区域反射，反射后的紫外光束穿过所述二次曲面反射镜(9)的中心通孔，最终成像在所述被测紫外像增强器的光阴极面上。