发明名称 | 一种基于紫外光激发的白光发射器件及其制备方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种半导体发光与显示器件的制备方法,具体地说,是涉及一种基于紫外光激发的白光发射器件及其制备方法,属光电集成技术领域。该制备方法包括如下步骤:清洗硅片、在清洗后的硅片上制备多孔硅、在多孔硅上沉积氮化铝薄膜、用紫外光照射氮化铝薄膜,得到在可见光区发光的白光发射器件。本发明具有如下的有益效果:器件结构简单,无污染,制备成本低;不需要荧光粉,发光效率高;发光性能稳定,光谱波长范围宽。 | ||
申请公布号 | CN102420274A | 申请公布日期 | 2012.04.18 |
申请号 | CN201110321003.1 | 申请日期 | 2011.10.15 |
申请人 | 徐州师范大学 | 发明人 | 赵波;齐红霞 |
分类号 | H01L33/00(2010.01)I | 主分类号 | H01L33/00(2010.01)I |
代理机构 | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人 | 何君 |
主权项 | 一种基于紫外光激发的白光发射器件及其制备方法,其特征是:该制备方法包括如下步骤:步骤一,清洗硅片;步骤二,在清洗后的硅片上制备多孔硅;步骤三,在多孔硅上沉积氮化铝薄膜;步骤四,用紫外光照射氮化铝薄膜,得到在可见光区发光的白光发射器件。 | ||
地址 | 221000 江苏省徐州市铜山区上海路101号 |