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经营范围
发明名称
Semiconductor device and method of manufacturing gate stack
摘要
申请公布号
GB2484639(A)
申请公布日期
2012.04.18
申请号
GB20120002288
申请日期
2010.09.19
申请人
INSTITUTE OF MICROELECTRONICS, CHINESE ACADEMY OFSCIENCES
发明人
HUICAI ZHONG;ZHIJIONG LUO;QINGQING LIANG
分类号
H01L29/423;H01L21/28;H01L27/092
主分类号
H01L29/423
代理机构
代理人
主权项
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