形状测定装置用探测器以及形状测定装置

摘要

本发明涉及一种形状测定装置用探测器，直动部(6)仅沿竖直方向能够直动地支承在安装部(2)上。摆动部(3)具有在前端设有与测定物(60)的被测定面(61)接触的测头(121)的臂(112)。连结机构(4)通过将摆动部(3)侧的支承部件(42)的尖端嵌入形成于直动部(6)侧的载置台(41)上的槽(41a)中，从而将摆动部(3)相对于直动部(6)能够摆动地连结。通过摆动侧磁铁(51)与非摆动侧磁铁(52)之间的磁吸引力，使臂(112)朝向竖直方向的作用力作用于摆动部(3)。通过可动侧磁铁(71)与固定侧磁铁(72)之间的磁力，在直动部(3)上作用竖直方向朝上的作用力，从而将直动部(3)相对于安装部(3)沿竖直方向被非接触保持。

主权项

一种形状测定装置用探测器，其具有：安装部，其安装于形状测定装置；直动部，其被支承成相对于所述安装部仅能够沿竖直方向直动；摆动部，其具有在前端设有与测定物的被测定面接触的测头的臂；连结机构，其具有设于所述摆动部的支点部和设于所述直动部并载置所述支点部的载置部，且使所述摆动部能够以所述支点部为支点摆动地与所述直动部连结；第一施力机构，其具有固定于所述摆动部的摆动侧部件和固定于所述直动部并相对于所述摆动侧部件沿竖直方向隔开间隔对置的非摆动侧部件，所述摆动侧部件和所述非摆动侧部件以产生磁吸引力的方式构成，且通过所述磁吸引力对所述摆动部施力，以使所述臂朝向竖直方向；第二施力机构，其具有固定于所述直动部的可动侧部件和固定于所述安装部并相对于所述可动侧部件沿竖直方向隔开间隔对置的固定侧部件，所述可动侧部件和所述固定侧部件以产生磁力的方式构成，且通过所述磁力在竖直方向朝上对所述直动部施力，以使该直动部相对于所述安装部沿竖直方向被非接触保持。