一种投影光刻机中的光束稳定装置

摘要

一种投影光刻机中的光束稳定装置，它可以对投影光刻机中的激光光源因地基振动、传输路径中气体抖动、环境温度、湿度、气压等变化引起的光束在方向与位置上的漂移进行校正，保证了光刻系统的成像及光刻质量。

主权项

一种投影光刻机中的光束稳定装置，其特征在于包括：所述的光束稳定装置均安放在密封腔内，它包括两个反射镜、第一分光镜、第二分光镜、四个压电陶瓷驱动器、两个柔性铰链台、位置光强探测器、角度光强探测器和计算机；在激光器入射光处安装两个反射镜，一个反射镜调节激光光束入射位置，另一反射镜调节激光光束入射方向；每个反射镜与一个柔性铰链台相连接，每个柔性铰链台再与压电陶瓷驱动器相连接；在第二分光镜后面放有位置光强探测器和角度光强探测器；第一分光镜将激光光束分离出一小部分到第二分光镜，第二分光镜再将光束分给位置光强探测器和角度光强探测器；两个光强探测器分别对光束的入射位置及入射角度进行检测；当投影光刻机中的激光光束变化引起入射光束在方向与位置上的漂移时，两个光强探测器所检测到的光强值就会发生变化，并将检测信号送入计算机，通过计算机处理得到光束入射角度和位置的漂移误差量；计算机再根据所述漂移误差量分别对压电陶瓷驱动器进行控制，四个压电陶瓷驱动器通过驱动两个柔性铰链机构分别调整两个反射镜的摆动角度，实现光束校准，保证激光器的入射光光束与主光轴重合，提高光刻系统的成像及光刻质量；所述柔性铰链台由载片台、柔性铰链机构、柔性铰链台底座组成；载片台位于柔性铰链机构的上方，并通过柔性铰链机构与柔性铰链台底座相连，压电陶瓷驱动器下端安装在柔性铰链台底座上，上端顶在载片台下方。