一种微机电热导式低浓甲烷气体传感器

摘要

本实用新型属于矿用易燃易爆气体安全监测技术领域，涉及一种微机电热导式低浓甲烷气体传感器。传感器包括微机电热导式敏感元件、温湿度补偿元件、信号调理和控制板，微机电热导式敏感元件通过数据线与信号调理模块相接，温湿度补偿元件通过数据线与控制板相接，信号调理通过排针与控制板相接。本实用新型采用微机电(MEMS)热导式敏感元件检测甲烷气体的浓度，并通过温湿度补偿元件进行温度和湿度补偿。本实用新型基于微机电技术，它的体积和耗电量非常小，但灵敏度大大提高；催化燃烧式甲烷气体传感器的整体功耗在1.5W左右，本实用新型的整体功耗约为800mW，使分站每个通道能够带动3个传感器。

主权项

一种微机电热导式低浓甲烷气体传感器，其特征在于，包括微机电热导式敏感元件(9)、温湿度补偿元件(10)、信号调理(7)、控制板(12)、气室(8)和外壳(11)，微机电热导式敏感元件(9)通过数据线与信号调理(7)相接，温湿度补偿元件(10)通过数据线与控制板(12)相接，信号调理(7)通过排针与控制板(12)相接。