一种氟化氢HF气体含量检测装置及方法

摘要

本发明实施例公开了一种氟化氢HF气体含量检测装置，包括采样装置、激光发射器、激光接收器，及处理系统；采样装置包括气室，温度传感器和压力传感器；温度传感器和压力传感器将温度和压力信息反馈至处理系统，处理系统根据温度和压力信息计算出待检测气体的压缩比例，并控制活塞运动至与压缩比例相对应的压缩位置；处理系统根据激光发射器向气室内发射的激光束光强，及激光接收器接收的来自气室内的激光束光强，计算出气室内待检测HF的含量值。本发明实施例还公开了一种氟化氢HF气体含量检测方法。本发明检测装置使气室内样气的密度尽量大，HF在含量极低的情况下也能被检测出来，该发明能及时发现GIS中潜在的危险。

主权项

一种氟化氢HF气体含量检测装置，其特征在于，包括采样装置、激光发射器、激光接收器，以及中央处理系统；其中，采样装置包括装有待检测气体的气室，所述待检测气体中包含HF气体，以及固定于所述气室的顶部且与所述中央处理系统相连接的温度传感器和压力传感器；所述温度传感器和所述压力传感器分别用于采集所述气室内的温度和压力，并将温度和压力信息反馈至所述中央处理系统，所述中央处理系统根据所述温度和压力信息计算出待检测气体的压缩比例，并控制位于所述气室内的活塞运动至与所述压缩比例相对应的压缩位置；所述激光发射器和所述激光接收器固定于所述气室的取样口处，并与所述中央处理系统相连接，所述中央处理系统用于在位于所述气室内的活塞运动至所述气室的压缩位置后，根据所述激光发射器通过所述取样口向所述气室内部发射的激光束光强，以及所述激光接收器接收的来自所述气室内部的激光束光强，计算出所述气室内部待检测HF气体的含量值。