| 发明名称 |
IMPROVEMENTS IN OR RELATING TO THE PRODUCTION OF POLYMER RESIST IMAGES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1215353(A) |
申请公布日期 |
1970.12.09 |
| 申请号 |
GB19680004225 |
申请日期 |
1968.01.26 |
| 申请人 |
GAF CORPORATION |
发明人 |
ALBERT SIMON DEUTSCH;WILLIAM GROFF HERRICK |
| 分类号 |
H05K3/00;C23F1/00;C23F1/02;G03F7/033;G03F7/038;H01L21/00 |
主分类号 |
H05K3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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