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发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON DÜNNEN SGOI-WAFERN MIT HOHER RELAXATIONS- UND NIEDRIGER STAPELFEHLERDEFEKTDICHTE
摘要
申请公布号 AT552611(T) 申请公布日期 2012.04.15
申请号 AT20040703076T 申请日期 2004.01.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHEN, HUAJIE;BEDELL, STEPHEN;SADANA, DEVENDRA;MOCUTA, DAN
分类号 H01L21/331;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/316;H01L21/762;H01L21/84;H01L29/10;H01L29/786 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
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