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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTS EINES OPTISCHEN IMMERSIONSLITHOGRAPHIESYSTEMS
摘要
申请公布号
AT552533(T)
申请公布日期
2012.04.15
申请号
AT20060793213T
申请日期
2006.09.05
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
HOLMES, STEVEN;FURUKAWA, TOSHIHARU;KOBURGER, CHARLES;MOUMEN, NAIM
分类号
G03F7/20;G03F7/11
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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