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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER NANOSTRUKTUR AUF EINEM VORGEÄTZTEN SUBSTRAT
摘要
申请公布号 AT553499(T) 申请公布日期 2012.04.15
申请号 AT20070825248T 申请日期 2007.06.26
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 EBELS, URSULA;DIENY, BERNARD;LESTELLE, DOMINIQUE;GAUTIER, ERIC
分类号 H01L23/528 主分类号 H01L23/528
代理机构 代理人
主权项
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