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经营范围
发明名称
CONTROLLED ELECTROCHEMICAL POLISHING METHOD
摘要
申请公布号
MY145771(A)
申请公布日期
2012.04.13
申请号
MY2006PI02746
申请日期
2006.06.12
申请人
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
发明人
PAUL FEENEY;VLASTA BRUSIC
分类号
C25F3/18
主分类号
C25F3/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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