摘要 |
<p>L'invention concerne un transducteur électro-acoustique comprenant une première électrode (16) formée sur un substrat (10) apte à transmettre les ultrasons, une membrane (18) formée au dessus de la première électrode (16) et séparée de celle-ci par une cavité (20), une deuxième électrode (23) formée sur la membrane (18), une première couche isolante (30) sur la deuxième électrode (23), et une troisième électrode (28) formée sur la première couche isolante (30).</p> |