发明名称 Vorrichtung zum Anbringen mehrerer gleicher Elemente auf einem halbleitenden Substrat mit Hilfe mehrerer ungleicher Masken
摘要
申请公布号 DE1622979(A1) 申请公布日期 1971.01.07
申请号 DE19681622979 申请日期 1968.01.11
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 TAPLEY FERGUSON,ERIC
分类号 G02B17/00;G02B17/08;G03F7/20 主分类号 G02B17/00
代理机构 代理人
主权项
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