| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Ventil (10, 40, 60, 80, 100, 120, 150, 210) mit einem ersten Ventilelement (12, 42, 62, 82, 102, 122, 152, 212) und einem zweiten Ventilelement (14, 44, 64, 84, 104, 124, 154, 214), wobei das erste Ventilelement ein erstes Trägerteil (13, 43, 63, 83, 103, 123, 153, 213) aus Kunststoff und ein erstes Flächenelement (16, 46, 66, 86, 106, 126, 158) aus Silizium oder Siliziumoxid, das an dem ersten Trägerteil befestigt ist umfasst, und das zweite Ventilelement ein zweites Trägerteil (15, 45, 65, 85, 105, 125, 155, 215) aus Kunststoff und ein zweites Flächenelement (18, 47, 67, 87, 107, 127, 159, 218) aus Silizium oder Siliziumoxid, das an dem zweiten Trägerteil befestigt ist, umfasst. Die Ventilelemente sind so angeordnet, dass das erste und das zweite Flächenelement entlang einer Anlagefläche zumindest teilweise flächig aneinander anliegen, wobei die Ventilelemente in wenigstens einer Richtung parallel zu der Anlagefläche der Flächenelemente relativ zueinander bewegbar sind. Das erste Flächenelement weist wenigstens eine erste Öffnung (20, 20', 50, 70, 70', 90, 90', 110, 130, 130', 162) auf und das zweite Flächenelement weist wenigstens eine zweite Öffnung (22, 22', 52, 52', 52'', 72, 72', 92, 92', 112, 112', 132, 132', 163, 222) auf, wobei die Ventilelemente relativ zueinander in der wenigstens einen Richtung parallel zu der Anlagefläche in wenigstens eine erste Position, in der die wenigstens eine Öffnung und die wenigstens eine zweite Öffnung miteinander in Fluidverbindung stehen, und wenigstens eine zweite Position, in der die wenigstens eine erste Öffnung und die wenigstens eine zweite Öffnung nicht miteinander in Fluidverbindung stehen, bewegbar sind. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Vorrichtung (200) mit einem solchen Ventil, eine Verwendung des Ventils in einer Vorrichtung, sowie eine Mikropumpe (400, 900), ein Verneblersystem (700) und eine Dosier-/Mischvorrichtung (500) mit einem solchen Ventil.</p> |
