| 发明名称 |
Kondensator für Halbleiterspeicherbauelement und Verfahren zu dessen Herstellung |
| 摘要 |
Kondensator für ein Halbleiterspeicherbauelement, umfassend: eine untere Elektrode (40); eine dielektrische Schicht (43), die auf der unteren Elektrode (40) ausgebildet ist; und eine obere Elektrode (45), die auf der Oberseite der dielektrischen Schicht (43) ausgebildet ist, wobei die dielektrische Schicht eine (TaO)1-x(TiO)xN-Schicht ist, wobei 0,01 ≤ x < 0,09 ist.
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| 申请公布号 |
DE10032210(B4) |
申请公布日期 |
2012.04.12 |
| 申请号 |
DE20001032210 |
申请日期 |
2000.07.03 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
LEE, KEE JEUNG;KIM, DONG JUN |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L27/108;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/8242 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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