非晶矽太阳能电池之光电转换效率的改善方法

摘要

本发明提供一种非晶矽太阳能电池之光电转换效率的改善方法，包含以下步骤：(a)于一导电性基板上形成一厚度大于400 nm之金属诱发层；(b)于该金属诱发层上形成一厚度大于400 nm之非晶矽层；(c)对该金属诱发层与非晶矽层施予退火处理，以使该非晶矽层于该导电性基板上被诱发为一正型多晶矽层；(d)移除该金属诱发层；及(e)于该正型多晶矽层上依序形成一本质型非晶矽层、一负型非晶矽层及一电极。