用于抛光多晶矽的化学机械抛光液

摘要

本发明揭露一种用于抛光多晶矽的化学机械抛光液，该抛光液包括研磨颗粒和水，其还包括一种或多种多元醇型非离子表面活性剂。本发明的抛光液是可以在硷性条件下较好地抛光多晶矽薄膜的新型的化学机械抛光液。并且还可以显着降低多晶矽的去除速率，调节多晶矽与二氧化矽的选择比，显着提高多晶矽的平坦化效率。