发明名称 |
法拉第杯 |
摘要 |
一种法拉第杯,包括框体及石墨。框体具有容置空间。石墨可拆换地设置于容置空间中。上述法拉第杯可快速地且局部地更换部件。 |
申请公布号 |
TWM426862 |
申请公布日期 |
2012.04.11 |
申请号 |
TW100220223 |
申请日期 |
2011.10.27 |
申请人 |
力晶科技股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行一路12号 |
发明人 |
庄锦贤;张元河;蔡济全;陈平阳;施介文;彭圣修 |
分类号 |
H01L21/265;H01J37/30 |
主分类号 |
H01L21/265 |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区力行一路12号 |