发明名称 法拉第杯
摘要 一种法拉第杯,包括框体及石墨。框体具有容置空间。石墨可拆换地设置于容置空间中。上述法拉第杯可快速地且局部地更换部件。
申请公布号 TWM426862 申请公布日期 2012.04.11
申请号 TW100220223 申请日期 2011.10.27
申请人 力晶科技股份有限公司 新竹市新竹科学工业园区力行一路12号 发明人 庄锦贤;张元河;蔡济全;陈平阳;施介文;彭圣修
分类号 H01L21/265;H01J37/30 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行一路12号