| 发明名称 | 用于使衬底与衬底载体分离的装置和方法 | ||
| 摘要 | 一个用于使衬底与通过连接层连接衬底的衬底载体分离的装置，具有一个衬底载体容纳体，后者具有用于容纳衬底载体的容纳体表面，一个与衬底载体容纳体对置设置的衬底容纳体，后者具有平行于容纳体表面设置的用于容纳衬底的衬底容纳体表面，其中为了使衬底相对于衬底载体在衬底与衬底载体的连接状态中平行移动设有分离机构。本发明还涉及一种用于使衬底与通过连接层连接衬底的衬底载体分离的方法，具有下面的步骤：在衬底容纳体的衬底容纳体表面与平行于衬底容纳体表面设置的衬底载体容纳体的容纳体表面之间容纳由衬底载体、连接层和衬底组成的衬底-衬底载体-连接体，通过使衬底相对于衬底载体在衬底与衬底载体的连接状态中平行移动分离衬底与衬底载体。 | ||
| 申请公布号 | CN102414780A | 申请公布日期 | 2012.04.11 |
| 申请号 | CN201080017730.2 | 申请日期 | 2010.03.31 |
| 申请人 | EV集团有限责任公司 | 发明人 | M.温普林格;P.林德纳 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 赵辛;杨国治 |
| 主权项 | 一个用于使衬底（1）与通过连接层（3）连接衬底（1）的衬底载体（2）分离的装置，具有‑ 一个衬底载体容纳体（5），具有用于容纳衬底载体（2）的容纳体表面（5a），‑ 一个与衬底载体容纳体（5）对置设置的衬底容纳体（4），具有平行于容纳体表面（5a）设置的用于容纳衬底（1）的衬底容纳体表面（4a），其特征在于，为了使衬底（1）相对于衬底载体（2）在衬底（1）与衬底载体（2）的连接状态中平行移动设有分离机构。 | ||
| 地址 | 奥地利圣弗洛里安 | ||