一种多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统

摘要

钟罩又称炉筒，本实用新型为一种多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统，包括：电气控制系统，高压热水动力装置：内含高压泵及阀组、进水加热器；清洗剂箱；内部含有清洗剂；清洗烘干工作台：放置待清洗工件；洗灌装置：设置于工作台上，与清洗剂箱通过管道相连，由高压热水动力装置射出高压水流作为驱动动力，对钟罩表面及工作台表面进行水力冲洗；净化热风烘干装置：烘干排除余留在钟罩内部的和工作台表面的液体和湿气；洗灌装置为三维喷洒喷头：使用水力自驱动式，对钟罩表面形成360度球形网状喷射。本实用新型可大大改善清洗烘干作业环境。通过PLC及触摸屏控制，可实现钟罩的全自动清洗烘干，与人工清洗烘干比大量节约人力资源。

主权项

一种多晶硅还原炉及氢化炉钟罩自动清洗烘干系统，其特征在于，包括：电气控制系统：用于控制清洗系统工作；高压热水动力装置：内含高压泵及阀组、进水加热器，用于缓存漂洗冲洗的脱盐水及高纯水的漂洗冲洗水箱，高压泵进水受控加热，提供加热高压水流；清洗剂箱：内部含有清洗剂，与所述高压热水动力装置通过管道相连；清洗烘干工作台：用于放置待清洗工件；洗灌装置：设置于工作台上，与所述清洗剂箱通过管道相连，由所述高压热水动力装置射出高压水流作为驱动动力，对钟罩表面及工作台表面进行水力冲洗；净化热风烘干装置：用于烘干排除余留在钟罩内部的和工作台表面的液体和湿气；所述洗灌装置为三维喷洒喷头：使用水力自驱动式，对钟罩表面形成360度球形网状喷射表面。