真空蒸镀用镀材舟及真空蒸镀系统

摘要

本发明提供一种镀材舟和真空蒸镀系统，所述的镀材舟包含：一镀材容器，用以容纳镀材，并具有一开口；一盖板，设置于该镀材容器的开口上方并与该镀材容器保持一预定间隙，且该盖板的垂直投影面覆盖该镀材容器的该开口，使该镀材汽化后所产生的镀材蒸气经由该预定间隙发散至该镀材舟外部时，通过该盖板控制该镀材蒸气的发散范围；以及一支撑构件，连接该镀材容器及该盖板，以维持其二者间的预定间隙。

主权项

一种蒸镀用镀材舟，其特征在于，包含：一镀材容器，用以容纳镀材，并具有一开口；一盖板，设置于该镀材容器的开口上方并与该镀材容器保持一预定间隙，且该盖板的垂直投影面覆盖该镀材容器的该开口，使该镀材汽化后所产生的镀材蒸气经由该预定间隙发散至该镀材舟外部时，通过该盖板控制该镀材蒸气的发散范围；以及一支撑构件，连接该镀材容器及该盖板，以维持其二者间的预定间隙。