| 发明名称 | 缺陷修正装置和缺陷修正方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及缺陷修正装置和缺陷修正方法。所述缺陷修正装置包括：缺陷检测设备，其用于检测多层基板中的重复图案内的缺陷；缺陷修正设备，其用于通过规定的缺陷修正方法修正所述多层基板中的所述缺陷；及控制设备，其用于在检测到由所述缺陷检测设备所检测的所述缺陷与认为发生层间短路缺陷的区域重叠时，生成与用于所述层间短路缺陷的所述缺陷修正方法相对应的对象，并通过使用所生成的对象控制用于修正所述缺陷的所述缺陷修正设备。根据本发明，能够在提高层间短路缺陷的缺陷修正过程的工作效率的同时，提高缺陷修正的质量。 | ||
| 申请公布号 | CN102412114A | 申请公布日期 | 2012.04.11 |
| 申请号 | CN201110261864.5 | 申请日期 | 2011.09.06 |
| 申请人 | 索尼公司 | 发明人 | 冈亚希子;泉岳;本多友明 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;B23K26/00(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 陈桂香;武玉琴 |
| 主权项 | 一种缺陷修正装置，其包括：缺陷检测设备，其用于检测多层基板中的重复图案内的缺陷；缺陷修正设备，其用于通过规定的缺陷修正方法修正所述多层基板中的所述缺陷；及控制设备，其用于在检测到由所述缺陷检测设备所检测的所述缺陷与认为发生层间短路缺陷的区域重叠时，生成与用于所述层间短路缺陷的所述缺陷修正方法相对应的对象，并通过使用所生成的对象控制用于修正所述缺陷的所述缺陷修正设备。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||