| 发明名称 | 用于音频设备的MEMS换能器 | ||
| 摘要 | 一种用于音频设备的MEMS换能器(10)，包括：基板(12)、附接到所述基板(12)的膜(14)和附接到所述基板(12)的背电极(18)，其中所述背电极(18)的谐振频率与所述膜(14)的谐振频率相匹配。另外，一种用于音频设备的MEMS换能器(19)的制造方法，包括：将膜附接到基板(12)上，将背电极(18)附接到所述基板(12)上，将所述背电极(18)的谐振频率所述膜(14)的谐振频率相匹配。 | ||
| 申请公布号 | CN102415108A | 申请公布日期 | 2012.04.11 |
| 申请号 | CN201080018814.8 | 申请日期 | 2010.03.30 |
| 申请人 | 楼氏电子亚洲有限公司 | 发明人 | 特温·范利庞;格特·兰格雷斯;约瑟夫·卢茨;希尔柯·瑟伊;卡斯·范德阿沃尔特;安德烈亚斯·B·M·扬斯曼 |
| 分类号 | H04R19/00(2006.01)I | 主分类号 | H04R19/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 吕雁葭 |
| 主权项 | 一种用于音频设备的MEMS换能器，所述MEMS换能器包括：基板(12)，膜(14)，附接到所述基板(12)，和背电极(18)，附接到所述基板(12)，其中，所述背电极(18)的谐振频率与所述膜(14)的谐振频率匹配。 | ||
| 地址 | 新加坡市 | ||