| 发明名称 | 可同时量测加速度及压力的微机电传感器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种可同时量测加速度及压力的微机电传感器，包含有一框架、一质量块以及多个连接于该框架与该质量块之间的弹性支撑臂，使该质量块可悬置于该框架中，此外，该质量块具有一压力感测薄膜以及位于该薄膜下方的封闭腔室。通过此，该质量块除了本身可作为量测加速度用的可动感测元件之外，通过设于该质量块中的腔室以及该压力感测薄膜，可提供压力量测的功能。 | ||
| 申请公布号 | CN102408089A | 申请公布日期 | 2012.04.11 |
| 申请号 | CN201010289314.X | 申请日期 | 2010.09.20 |
| 申请人 | 利顺精密科技股份有限公司;冈田和广 | 发明人 | 吴名清;黄志恭;白金泉;冈田和广 |
| 分类号 | B81B3/00(2006.01)I;G01P15/12(2006.01)I;G01L9/02(2006.01)I | 主分类号 | B81B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 一种可同时量测加速度及压力的微机电传感器，其特征在于，包含有：一框架；多个弹性支撑臂，各该弹性支撑臂的一端衔接于该框架；一质量块，衔接于各该弹性支撑臂的另一端而悬置于该框架中，该质量块具有一压力感测薄膜以及位于该薄膜下方的封闭腔室。 | ||
| 地址 | 中国台湾台北县 | ||