| 发明名称 | 包含有双轨道传送机构的键合机 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于键合包括衬底的电子器件的键合装置，该键合装置包含有：相互相邻设置的第一轨道和第二轨道，其被配置来在沿着第一轨道和第二轨道传送期间在垂直方位上定位衬底；键合系统，其设置在第一键合位置和第二键合位置上方，第一键合位置沿着第一轨道设置，第二键合位置沿着第二轨道设置；第一排列机和第二排列机，第一排列机相邻于第一轨道设置，第二排列机相邻于第二轨道设置，当在一个轨道上固定的衬底被键合时，每个排列机独立地操作来沿着另一个轨道传送衬底；以及容器，其设置在轨道的一端，用于固定多个未键合的衬底，并被操作来直接进给未键合的衬底到轨道上。 | ||
| 申请公布号 | CN101964310B | 申请公布日期 | 2012.04.11 |
| 申请号 | CN200910177354.2 | 申请日期 | 2009.09.30 |
| 申请人 | 先进科技新加坡有限公司 | 发明人 | 宋景耀;关家胜;林俊杰;贺汀宇 |
| 分类号 | H01L21/50(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人 | 周春发 |
| 主权项 | 一种用于键合包括衬底的电子器件的键合装置，该键合装置包含有：相互相邻设置的第一轨道和第二轨道，其被配置来在沿着第一轨道和第二轨道传送期间在垂直方位上定位衬底；键合系统，其设置在第一键合位置和第二键合位置上方，第一键合位置沿着第一轨道设置，第二键合位置沿着第二轨道设置；第一排列机和第二排列机，第一排列机相邻于第一轨道设置，第二排列机相邻于第二轨道设置，当在一个轨道上固定的衬底被键合时，每个排列机独立地操作来沿着另一个轨道传送衬底；以及容器，其设置在轨道的一端，用于固定多个未键合的衬底，并被操作来直接进给未键合的衬底到轨道上。 | ||
| 地址 | 新加坡新加坡市2义顺7道 | ||