主权项 |
1.一种化学放大型正性抗蚀剂组合物,其包含(A)树脂和(B)至少一种酸生成剂,其中所述的(A)树脂包含(i)由式(I)表示的聚合单元:<img file="FSB00000699054200011.GIF" wi="672" he="521" />其中R<sup>10</sup>表示氢原子或C1-C4烷基,R<sup>11</sup>表示C1-C4烷基,p表示1至3的整数,q表示0至2的整数,并且当q是1或2时,多个R<sup>11</sup>可以相同或不同,(ii)由式(II)表示的聚合单元:<img file="FSB00000699054200012.GIF" wi="556" he="593" />其中R<sup>1</sup>表示氢原子或甲基,R<sup>2</sup>表示C1-C8烷基,并且环X表示脂环烃基,和(iii)选自由式(III)表示的聚合单元和由式(IV)表示的聚合单元中的至少一种聚合单元:<img file="FSB00000699054200013.GIF" wi="1047" he="598" />式(III)中,R<sup>3</sup>表示氢原子或C1-C4烷基,并且R<sup>4</sup>、R<sup>5</sup>、R<sup>6</sup>、R<sup>7</sup>和R<sup>8</sup>各自独立地表示氢原子,C1-C4烷基,C1-C4烷氧基或羟基;<img file="FSB00000699054200021.GIF" wi="918" he="472" />式(IV)中,R<sup>9</sup>表示氢原子或甲基,n<sub>1</sub>表示0或1,并且R<sup>a</sup>表示可以被选自C1-C6烷基和羟基中的至少一个取代的蒽基。 |