电浆加工设备

摘要

本发明是一种电浆加工设备，包括一加载互锁真空室、一传送室以及一开口阀。传送室与加载互锁真空室分离安置，开口阀连结于加载互锁真空室的一边。其中，开口阀包括一阀箱、一叶片、一致动器以及一拴锁单元。阀箱的两边面处都至少具有一开口，叶片装配于阀箱中以开启及关闭任一边面处的开口，致动器提供一驱动力以开启及关闭叶片，拴锁单元连结致动器并防止叶片在保养工作期间开启及关闭的运作。

主权项

一种电浆加工设备，包括：一加载互锁真空室；一传送室，与所述加载互锁真空室分离安置；以及一开口阀，连结于所述加载互锁真空室的一边，其特征在于，所述开口阀包括：一阀箱，所述阀箱的两边面处都至少具有一开口；一叶片，装配于所述阀箱中，以开启及关闭所述阀箱任一边面处的所述开口；一致动器，提供一驱动力，以开启及关闭所述叶片，所述致动器为一气缸，所述气缸包括一气缸主体，连结于所述阀箱，以及一气缸杆件，相对于所述气缸主体伸长及收缩；以及一拴锁单元，连结所述致动器，并防止所述叶片在保养工作期间开启及关闭的运作，所述拴锁单元为一拴锁插销，所述拴锁插销插入所述气缸主体的一边内，并穿过所述气缸杆件，以使所述气缸杆件限制于所述气缸主体内。