呈90°角四输入微电子机械微波功率传感器及制备方法

摘要

本发明的呈90º角四输入微电子机械微波功率传感器，具有四个用于传输微波信号的CPW输入端，它们彼此对称放置且相互之间呈90º的角，在每个CPW的输出端连接两个终端匹配电阻，每个终端匹配电阻附近有一个热电偶，将这四对热电偶也成对称放置并串联连接形成热电堆，这四对热电偶相互之间也同样呈90º的角，从而实现了四输入微波功率的测量，它大大减小了芯片面积，提高了集成度；而且，本发明的四输入微电子机械微波功率传感器还具有低损耗、高灵敏度、好的线性度等传统热电式微波功率传感器的优点。

主权项

一种呈90º角四输入微电子机械微波功率传感器，其特征在于：该结构制作在砷化镓衬底（14）上，在砷化镓衬底（14）上有四个CPW（5），它们彼此对称放置且相互之间呈90º的角，在每个CPW（5）输出端连接两个终端匹配电阻（6），每个终端匹配电阻附近有一个热电偶（7），这八个热电偶（7）构成四对热电偶（7）也呈对称放置并串联连接形成热电堆，在这热电堆的两端有两个输出压焊块（11），热电堆的热端靠近终端匹配电阻（6）而热电堆的冷端靠近金属散热片（10）；在砷化镓衬底（14）背面有MEMS衬底膜结构（12），它位于终端匹配电阻（6）和热电堆的热端下方。