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发明名称
摘要
申请公布号 JP4913782(B2) 申请公布日期 2012.04.11
申请号 JP20080202204 申请日期 2008.08.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/312;C23C16/40;C23C16/56;H01L21/3105;H01L21/316 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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