| 发明名称 | 低温泵系统及其控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种低温泵系统及其控制方法，其在低温泵系统的多个压缩机之间更加均等地分担负载。本发明的低温泵系统(1000)具备：多个低温泵(10)；多个压缩机单元(102、104)，为了向多个低温泵(10)供给工作气体，分别按照控制输出而并列运行；及低温泵控制器(100)，决定相对于多个压缩机单元(102、104)各自的控制输出，其中，低温泵控制器(100)调整为了对至少1个压缩机单元(102、104)决定控制输出而使用的设定值，以使各压缩机单元(102、104)的运行状态均衡化。 | ||
| 申请公布号 | CN102410173A | 申请公布日期 | 2012.04.11 |
| 申请号 | CN201110275525.2 | 申请日期 | 2011.09.16 |
| 申请人 | 住友重机械工业株式会社 | 发明人 | 安东正道 |
| 分类号 | F04B37/08(2006.01)I | 主分类号 | F04B37/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 徐殿军 |
| 主权项 | 一种低温泵系统，其特征在于，具备：多个低温泵；多个压缩机单元，为了向所述多个低温泵供给工作气体，分别按照控制输出并列运行；及控制部，决定相对于所述多个压缩机单元各自的控制输出，其中，所述控制部调整为了对至少1个压缩机单元决定所述控制输出而使用的设定值，以使各压缩机单元的运行状态均衡化。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||