移动台、具有移动台的输送装置及带电粒子束装置

摘要

本发明的移动台具有：能够沿着第一方向移动的第一台(12)；至少一部分位于第一台(12)上，能够沿着与第一方向交叉的第二方向移动的第二台(13)；生成用于使第二台(13)沿着第二方向移动的驱动力的生成部(MY)；从生成部(MY)向第二台(13)传递驱动力，并且至少一部分伴随着第一台(12)的移动而进行动作的动力传递部(17、20)。

主权项

一种移动台，其具有：第一台，其能够沿着第一方向进行移动；第二台，其至少一部分位于所述第一台上，且能够沿着与所述第一方向交叉的第二方向进行移动；生成部，其生成用于使所述第二台沿着所述第二方向移动的驱动力；动力传递部，其从所述生成部向所述第二台传递所述驱动力，且至少一部分伴随着所述第一台的移动而进行动作。