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一种激光修调薄膜电阻中快速精确调整焦面的方法，是对设置在一光学平台(9)上的激光器(1)、第一调整反射镜(2)、第二调整反射镜(3)、扩束器(4)、X方向扫描振镜(5)、Y方向扫描振镜(6)和扫描场镜(7)所构成的光机系统进行定量调整，其特征在于，是将所述的扫描场镜(7)安置在一精密位移台(11)上，并辅以水平仪(12)和高度尺(13)，根据观察光刻效果，按以下步骤实现焦面的快速精确调整：a.进行焦点粗调，调整所述光学平台(9)上的调节螺栓(10)使光学平台(9)上的扫描场镜(7)距离工作台的高度和扫描场镜(7)的焦距近似相一致；b.进行焦面偏差检测，按照50μm间隔调整精密位移台(11)，每次调整时均出射激光刻蚀电阻，通过比较确定工作台(8)上的上、下、左、右四个边缘位置的最佳焦点位置，并且记录下来，然后计算上和下、左和右的焦点位置偏差，计算工作台(8)相对于焦面的角度偏差；c.初步精调，根据步骤b计算的角度偏差，通过调节螺栓(10)对光学平台(9)进行调整，同时使用水平仪(12)和高度尺(13)进行监测，准确达到调整量；d.进行二次精调，重复步骤b，把间隔改为5μm，测出偏差后重复步骤c，准确达到调整量后微调精密位移台(11)，焦面的位置和角度精度即可实现。 |
