一种单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉，包括有炉体、副炉，炉体内依次设有保温层、石墨加热器、石墨坩埚，石墨坩埚上方设有导流环，石墨坩埚下方设有锅托，副炉的顶端设有提升电动机，提升电动机下方连接有钢丝，钢丝下端连接有钼棒，钼棒下端固定有籽晶，副炉外设有油缸，副炉的侧壁与油缸的活塞杆固定连接。本实用新型的炉体内的密封性能进一步提高，能够节约多晶硅的使用量，使用单晶炉寿命延长，且生产成本降低。

主权项

一种单晶炉，包括有炉体、副炉，其特征在于：炉体内依次设有保温层、石墨加热器、石墨坩埚，石墨坩埚上方设有导流环，石墨坩埚下方设有锅托，副炉的顶端设有提升电动机，提升电动机下方连接有钢丝，钢丝下端连接有钼棒，钼棒下端固定有籽晶，副炉外设有油缸，副炉的侧壁与油缸的活塞杆固定连接。