互连件区域

摘要

本发明涉及在集成电路中使用的互连件区域。所述区域沿横截面可含有：闭合形状的内部区域，其中具有导电材料；第一电介质材料，其被配置为完全围绕所述内部区域的横向外围延伸的衬里；及至少两个电介质突出部，其接合到所述电介质材料衬里且从所述内部区域横向向外。所述电介质突出部可具有环绕内电介质区域的外电介质环。所述外环可由所述第一电介质材料组成且所述内电介质区域可为不同于所述第一电介质材料的组合物的组合物，且在一些实施例中，所述内电介质区域内的所述组合物可为气体的。

主权项

一种互连件区域，其沿横截面包括：闭合形状的内部区域，其中具有导电材料；第一电介质材料，其被配置为完全围绕所述内部区域的横向外围延伸的衬里；及至少两个电介质突出部，其接合到所述电介质材料衬里且从所述内部区域横向向外；所述电介质突出部具有环绕内电介质区域的外电介质环；所述外电介质环由所述第一电介质材料组成且所述内电介质区域包括不同于所述第一电介质材料的组合物的组合物。