发明名称 一种冷却板
摘要 本实用新型实施例公开了一种冷却板,该冷却板包括:板体和设置在所述板体内的螺旋通道,所述螺旋通道的一端位于所述板体内,所述螺旋通道的另一端位于所述板体边缘,并且所述螺旋通道的两端均与所述板体外空间相连通。本实用新型所提供的冷却板,在晶体硅铸锭过程中使用时,可使晶体炉坩埚内的液态硅从底部中心向上和中心向外逐渐凝固,最终可提高所形成的晶体硅的质量。
申请公布号 CN202187092U 申请公布日期 2012.04.11
申请号 CN201120287869.0 申请日期 2011.08.09
申请人 浙江思博恩新材料科技有限公司 发明人 汤旋
分类号 C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C30B29/06(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 逯长明
主权项 一种冷却板,其特征在于,包括:板体和设置在所述板体内的螺旋通道,所述螺旋通道的一端位于所述板体内,所述螺旋通道的另一端位于所述板体边缘,并且所述螺旋通道的两端均与所述板体外空间相连通。
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