首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 SUBSTRATE CLEANING APPARATUS, SUBSTRATE CLEANING METHOD, SUBSTRATE CLEANING PROGRAM AND PROGRAM RECORDING MEDIUM
摘要
申请公布号 EP1933374(B1) 申请公布日期 2012.04.11
申请号 EP20060810317 申请日期 2006.09.20
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 TAKIMOTO, YUJI
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com